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磁性液体真空密封连接器

磁性液体密封技术是在磁性液体的基础上发展的,与传统密封技术相比具有:1.“零”泄漏,泄漏率低于质谱仪可测范围(10-11Pa.m3/sec)。 2.长寿命,无磨损,工作可靠。 3.无污染,没有密封材料磨损产生的颗粒。 4.低阻力,高转速。

磁性液体真空密封连接器是一种能够在两个相对封闭的空间内提供相互的可靠旋转连接的装置。全系列的设计使其在多种场合得到广泛应用,例如单晶硅炉、各类镀膜设备、气相沉积、液晶再生、半导体刻蚀系统等超高真空系统和设备。

磁性液体真空密封连接器组件根据各类常用真空设备使用的真空旋转轴连接器技术参数设计制造,可直接替代相应的真空密封连接器使用,基本不需对原设备进行改造。

连接轴具有实心和空心两大类型号,方便不同应用需要。

特殊要求可增加水冷装置或提供更大负载能力。

特殊型号可特别设计制造。

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上次修改时间:2003年01月04日  版权所有(C) 2002 安徽金科磁性液体有限公司